凈化工程潔凈室無塵車間的概念
發布日期：2020-12-18來源：admin
在一定空間范圍內，將空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在 某一需求范圍內的工程學科。凈化工程所特別設計的房間，不論外在空氣前提如何變化，室內均具有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機能。
控制產品 (如硅芯片等) 所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中出產、制造。此空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
亂流式
空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA) 進入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式合用于潔凈室等級1,000-100,000級。
長處：構造簡樸、系統建造本錢低，潔凈室的擴充比較輕易，在某些特殊用途場所，可并用無塵車間，進步潔凈室等級。
缺點：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產品。另外若系統休止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相稱長一段時間。
層流式
層流式空氣氣流運動成一平均之直線型，空氣由籠蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式合用于潔凈室等級需定較高的環境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴峻。
長處：構造簡樸，運轉后短時間內即可變成不亂。
缺點：建造用度比亂流式高，室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器籠蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作職員所產生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。
長處：治理輕易，運轉開始短時間內即可達不亂狀態，不易為功課狀態或功課職員所影響。
缺點：構造用度較高，彈性運用空間難題，天花板之吊架相稱占空間，維修更換過濾器較麻煩。
復合式：
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
(1)潔凈地道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%籠蓋使潔凈度等級進步至10級以上，可節省安裝運轉用度。此型式需將功課職員之 工作區與產品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時影響工作及品質。ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈地道另有二項長處：A.彈性擴充輕易； B.維修設備時可在維修區等閑執行。
(2)潔凈管道(Clean Tube)：將產品流程經由的自動出產線包抄并凈化處理，將潔凈度等級提至100級以上。因產品和功課員及發塵環境相互隔離，少量之送風即可得到良好之潔 凈度，可節省能源，不需人工的自動化出產線為*相宜使用。藥品、食物業界及半導體業界均合用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot)：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產品制程區的潔凈度等級進步為10~1000級以上，認為出產之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
